ケルビンプローブフォース顕微鏡

ケルビンプローブフォース顕微鏡（ケルビンプローブフォースけんびきょう、英: Kelvin probe Force Microscopy: KFM）は、原子間力顕微鏡 (AFM) を元に開発された顕微鏡の一種。イギリスのケルビン卿が接触電位差として探針と試料との電位差が得られることを発見した事が名前の由来となっている。