ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ(ターボぶんしポンプ、英語:turbomolecular pump、略称:TMP)は機械式真空ポンプの一種で、金属製のタービン翼を持った回転体であるロータが高速回転し、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気するポンプである。 JISではこのような排気方式を「運動量輸送式」の真空ポンプと呼んでいる。
ターボ分子ポンプ(ターボぶんしポンプ、英語:turbomolecular pump、略称:TMP)は機械式真空ポンプの一種で、金属製のタービン翼を持った回転体であるロータが高速回転し、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気するポンプである。 JISではこのような排気方式を「運動量輸送式」の真空ポンプと呼んでいる。
ターボ分子ポンプ(ターボぶんしポンプ、英語:turbomolecular pump、略称:TMP)は機械式真空ポンプの一種で、金属製のタービン翼を持った回転体であるロータが高速回転し、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気するポンプである。 JISではこのような排気方式を「運動量輸送式」の真空ポンプと呼んでいる。
出典: Wikipedia「ターボ分子ポンプ」 · CC BY-SA 4.0
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