圧力センサ

圧力センサ（あつりょくセンサ）は、圧力を検知するセンサ。 MEMSで一般的な圧力センサはダイアフラムゲージ(diaphragm gauge)で、隔膜（ダイアフラム）に加わる圧力を膜の変形として検出する。