容量結合プラズマ
容量結合プラズマ（ようりょうけつごうプラズマ、Capacitively Coupled Plasma、略称：CCP）は、産業プラズマの中で最も一般的な種類の1つである。 基本的には、装置内で短距離に隔てられた2枚の金属極板によって構成されている。
容量結合プラズマ（ようりょうけつごうプラズマ、Capacitively Coupled Plasma、略称：CCP）は、産業プラズマの中で最も一般的な種類の1つである。 基本的には、装置内で短距離に隔てられた2枚の金属極板によって構成されている。
容量結合プラズマ（ようりょうけつごうプラズマ、Capacitively Coupled Plasma、略称：CCP）は、産業プラズマの中で最も一般的な種類の1つである。 基本的には、装置内で短距離に隔てられた2枚の金属極板によって構成されている。
出典: Wikipedia「容量結合プラズマ」 · CC BY-SA 4.0
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