拡散ポンプ

拡散ポンプ（かくさんポンプ、英語: diffusion pump）は、半導体製造・加工装置などの真空チャンバーで主に用いられる真空ポンプである。主に油拡散ポンプが使われるが、用途によっては水銀拡散ポンプが使われることもある。