真空フィードスルー

真空フィードスルー（しんくうフィードスルー、英語：Vacuum feedthrough）は、真空状態を保っている機器の内部へ、電気信号や物理的な運動、流体などを輸送、コントロールするために、真空状態と大気を遮る真空壁に取り付けられる真空部品である。 == フィードスルーの種類 == === 電気フィードスルー === 電気を真空へ送るためのフィードスルーは2つに大別できる。