超微細電子工学

超微細電子工学 (ナノエレクトロニクス、ナノ電子工学) とは、電子工学の一分野であり、電子部品における超微細加工技術の利用に関する学問領域である。素子間や原子間の相互作用、並びに量子力学的特性を考慮する必要のある規模での半導体材料や半導体素子を研究対象とする。