LIGA
LIGAとは、高アスペクト比（100:1オーダー）の微細構造を製作する微細加工である。 LIGAという呼称は、フォトリソグラフィ (Lithographie)電解めっき (Galvanoformung) 形成 (Abformung) という各工程のドイツ語の頭文字に由来している。
LIGAとは、高アスペクト比（100:1オーダー）の微細構造を製作する微細加工である。 LIGAという呼称は、フォトリソグラフィ (Lithographie)電解めっき (Galvanoformung) 形成 (Abformung) という各工程のドイツ語の頭文字に由来している。
LIGAとは、高アスペクト比（100:1オーダー）の微細構造を製作する微細加工である。 LIGAという呼称は、フォトリソグラフィ (Lithographie)電解めっき (Galvanoformung) 形成 (Abformung) という各工程のドイツ語の頭文字に由来している。
出典: Wikipedia「LIGA」 · CC BY-SA 4.0
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