ツーフローMOCVD

ツーフローMOCVDは、MOCVD装置のリアクタに、縦方向からと横方向からという2つの流れによって成長基板に原料をあてるもの。赤崎勇の論文を教科書に工業技術者の中村修二が日亜化学時代、工業用に吹き付け筒を一つ付けたしたMOCVD装置に手を加えた青色発光材料であるGaN（窒化ガリウム）の成長を成功させたもの。