有機金属気相成長法

有機金属気相成長法(ゆうききんぞくきそうせいちょうほう、英語:metal organic chemical vapor deposition、略称:MOCVD)は、原料として有機金属やガスを用いた結晶成長方法、及びその装置である。 結晶成長という観点を重視してMOVPE (metal-organic vapor phase epitaxy) とも言う。

Source: Wikipedia — 有機金属気相成長法 (CC BY-SA 4.0)

有機金属気相成長法

有機金属気相成長法(ゆうききんぞくきそうせいちょうほう、英語:metal organic chemical vapor deposition、略称:MOCVD)は、原料として有機金属やガスを用いた結晶成長方法、及びその装置である。 結晶成長という観点を重視してMOVPE (metal-organic vapor phase epitaxy) とも言う。

出典: Wikipedia「有機金属気相成長法」 · CC BY-SA 4.0

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