配線工程
配線工程またはバックエンド(back end of line、BEOL)とは、半導体製造における2番目の工程であり、それぞれのデバイス(トランジスタ、キャパシタ、抵抗など)がメタル層によって配線される。 配線材料として以前はアルミニウム配線が使われていたが、その後銅配線に置き換わった 。
配線工程またはバックエンド(back end of line、BEOL)とは、半導体製造における2番目の工程であり、それぞれのデバイス(トランジスタ、キャパシタ、抵抗など)がメタル層によって配線される。 配線材料として以前はアルミニウム配線が使われていたが、その後銅配線に置き換わった 。
配線工程またはバックエンド(back end of line、BEOL)とは、半導体製造における2番目の工程であり、それぞれのデバイス(トランジスタ、キャパシタ、抵抗など)がメタル層によって配線される。 配線材料として以前はアルミニウム配線が使われていたが、その後銅配線に置き換わった 。
出典: Wikipedia「配線工程」 · CC BY-SA 4.0
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