走査型プローブ顕微鏡

走査型プローブ顕微鏡 (そうさがたプローブけんびきょう、Scanning Probe Microscope; SPM) は、プローブを用いた顕微鏡観察手法の総称である。先端を尖らせた探針を用いて、物質の表面をなぞるように動かして表面状態を拡大観察する。